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當(dāng)前位置：首頁 >> 產(chǎn)品展示 >> 設(shè)備 1.壓印幅面：1020mm*1520mm
2.壓印精度：最小線寬≤30nm
3.壓印速度：≥1m/min
4.輥輪壓力：自重+額定壓力設(shè)定
5.全自動完成壓印、曝光、脫模，脫模角度可設(shè)定
6. UV光源：365nm LED光源，最大額定功率500mw/cm^2面光源尺寸規(guī)格：1100mm*75mm，通過光源恒定速度移動，完成曝光
7.腔體配有FFU、去靜電裝置，可保證良好的腔體環(huán)境
8.圖形化軟件界面，生產(chǎn)過程實時反饋數(shù)據(jù)
蘇州光舵微納科技股份有限公司
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