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當(dāng)前位置：首頁 >> 產(chǎn)品展示 >> 設(shè)備 所屬分類：設(shè)備
產(chǎn)品規(guī)格：GD-2C-N-R300
發(fā)布時間：2022-08-17
訪問數(shù)量：13993
型號：GD-2C-N-R300
設(shè)備性能：
12英寸晶圓及以下兼容
晶圓預(yù)清洗，勻膠，及冷熱板功能
全自動晶圓傳送
全自動柔性模板制作及自動壓印工藝流程
最低線寬小于20nm
壓印深寬比至10:1
兼容高刻蝕比壓印膠壓印
蘇州光舵微納科技股份有限公司
常熟工廠地址：常熟市虞山高新區(qū)建業(yè)路2號常熟先進制造業(yè)科技園7C棟1樓，2樓
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